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全彩化关键突破!晶能光电成功制备硅衬底红光MicroLED

  日前,晶能光电成功制备了
  红、绿、蓝三基色
  硅衬底GaN基Micro LED阵列
  在Micro LED全彩芯片开发上
  前进了关键一步
  微米尺寸的Micro LED制备已经脱离了普通LED工艺而进入了IC制程。大尺寸硅衬底GaN晶圆具有低成本、兼容IC制程、易于衬底剥离等核心优势,已成为Micro LED制备的主流技术路线。在国际上,Aledia、Plessey、ALLOS 、STRATACACHE等公司都在专注于硅衬底Micro LED开发。主要消费电子产业巨头更是在这一领域投入大量资源,以期在AR、VR等可穿戴设备的巨大市场中拔得头筹。
  Micro LED走向大规模应用要求高良率和高光效的红绿蓝三基色Micro LED芯片。目前绿光和蓝光的GaN材料体系已经成熟,并满足Micro LED制程开发的要求。但对于红光Micro LED,传统的红光AlInGaP体系因为其材料较脆和侧壁上非辐射复合严重,面临着良率和光效两方面的重大技术瓶颈。所以,开发InGaN基红光LED,特别是大尺寸硅衬底上InGaN基红光LED被业界寄以厚望。
  晶能的芯片总监黄涛介绍,本次的硅衬底InGaN红、绿、蓝Micro LED阵列的像素点间距为25微米,像素密度为1000PPI,在10A/cm2电流密度下的峰值波长分别为650nm、531nm、和445nm。InGaN红光芯片的外量子效率(36mil,650nm峰值波长)为3.5%,EL的半高宽为70nm。晶能这一成果发布,标志其成为国内首家实现硅衬底GaN基三基色Micro LED的企业。
  图为硅衬底GaN基RGB Micro LED阵列
  晶能外延副总裁付羿表示,
  晶能一直专注硅衬底GaN基LED技术开发,十余年来持续引进人才以保证硅衬底GaN产业技术升级迭代。目前晶能的硅衬底GaN基LED产品已经覆盖了从365nm到660nm的可见光范围,并且实现了优秀的量产良率、波长集中度、光效、和可靠性。2018年,晶能开始硅衬底micro LED开发。付羿表示,晶能非常重视硅衬底GaN基Micro LED在AR/VR产业上的巨大应用前景,但必须要持续努力去解决诸如InGaN红光光效、发光半高宽、和最终的全彩化方案等关键问题,而且需要整个产业链的协同,才能实现Micro LED显示技术的规模应用。
  新学期新希望,为了能顺利地完成开学报到工作,现将有关事项告知如下,敬请各位家长按照学校要求一一做好准备。
  图为硅衬底GaN基RGB Micro LED归一化光谱
  图为36mil尺寸硅衬底GaN基红光LED光谱
  晶能光电简介
  晶能光电(江西)有限公司成立于2006年2月,位于南昌高新区艾溪湖北路699号,是专注于大功率LED芯片、器件和第三代半导体GaN材料开发与生产的高科技企业。
  晶能光电在硅衬底GaN技术领域已耕耘近二十载,在全球率先实现硅衬底GaN技术在LED领域的产业化和市场应用,开创了全球第三条蓝光LED技术路线,在全球申请或拥有420多项专利,其中硅衬底GaN基蓝光LED技术获得2015年度国家技术发明奖一等奖。同时,公司凭借硅衬底GaN材料技术优势,在硅衬底Micro LED和GaN HEMT的材料研究领域具有深厚积淀。
  公司拥有国际化的技术团队和管理团队,具备持续创新的、先进的大规模生产制造和管理能力。公司将秉承创新和本分的基因,致力于为全球消费者提供全方位的高端LED照明、微显示和GaN器件的产品和解决方案。

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