据调查，发生滑坡事件的深圳柳溪工业园区当地居民表示，冲击工业园区、造成垮塌的泥土并非自然山体，而是近两年附近施工挖土、在山体上堆积的渣土，山谷两旁的山高约100米。渣土冲出山体涌向了附近的工业园区。
事故发生地深圳市光明新区红坳余泥渣土受纳场规划库容400万立方米，封场标高95米，事故发生时实际堆填量已达583万立方米，堆填体后缘实际标高已达160米，严重超库容、超高堆填，增加了堆填体的下滑推力。加之受纳场地势南高北低,北侧基岩狭窄、凸起，导致体积庞大的高势能堆填体滑出后迅速转化为高速远程滑坡体。
由于受纳场没有建设有效的导排水系统，受纳场内积水未能导出排泄，致使堆填的渣土含水过饱和，形成底部软弱滑动带;严重超量超高堆填加载，下滑推力逐渐增大、稳定性降低，导致渣土失稳滑出，体积庞大的高势能滑坡体形成了巨大冲击力。
事发前险情处置错误，造成重大人员伤亡和财产损失。事故企业现场作业人员，在事发当天发现受纳场堆填体多处出现裂缝、鼓胀开裂变形后，错误采用顶部填土方式进行处理，使已经开始失稳的堆填体后缘增加了下滑推力，加速了滑坡的产生。
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